熱式氣體質(zhì)量流量計既可進行氣體流量計量工作，也可用于過程控制領(lǐng)域。它引進   技術(shù)生產(chǎn)，無須溫壓補償，直接測出流體的質(zhì)量流量。它的突出特點是：沒有可動部件；壓力損失小；量程比寬；精度高；可靠性高；安裝簡單，操作方便。

熱式氣體質(zhì)量流量計采用熱擴散原理，熱擴散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)。其典型傳感元件包括兩個熱電阻（鉑RTD），一個是速度傳感器，一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當(dāng)兩個RTD被置于介質(zhì)中時，其中速度傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的一個恒定的溫度，另一個溫度傳感器用于感應(yīng)介質(zhì)溫度。流經(jīng)速度傳感器的氣體質(zhì)量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計算的。氣體流速增加，介質(zhì)帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定，則   增加通過傳感器的工作電流，此增加的部分電流大小與介質(zhì)的流速成正比。